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    矽線波導覆蓋層之應力研究分析
    • 電子工程系 /101/ 碩士
    • 研究生: 王勝民 指導教授:
    • 近年來,微型矽光子學元件的多功能及有效成本製程技術已漸漸引起越來越多人的興趣,以絕緣層上覆矽(SOI)為主的多功能、高密度積體光學元件電路已變成熱門的研究主題,由於元件的晶片積體化,所以對由不同物質…
    • 點閱:178下載:1
    • 全文公開日期 2015/08/01 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    矽線波導應力效應之分析
    • 電子工程系 /102/ 碩士
    • 研究生: 黃士安 指導教授:
    • 由於光電子元件積體化,所以對於不同材料所組成的結構來說,半導體製程中所產生的本質應力(Intrinsic-stress)、外在環境溫度影響下所產生的熱應力(Thermal-stress)對於波導雙折…
    • 點閱:248下載:0
    • 全文公開日期 2019/07/28 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 2019/07/28 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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